自动晶圆粉体清洗机

全自动晶圆粉体清洗机提供高可重复性、高均匀性及Z先进的兆声清洗。它可以在一个工艺步骤中包含了利的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。

全自动晶圆粉体清洗机特点：

1、可更换清洗吸盘，可使用4-12英寸的清洗吸盘；

2、操作程序可按作业需求编写调整，设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制；

3、设备运行状态及参数在线实时监控，自动门配有安全光栅，保证操作安全；

4、采用真空吸附式清洗盘，晶元夹具的取放更安全、方便；

5、全自动晶圆粉体清洗机摆臂式清洗，清洗范围可编制，适用范围广、无清洗盲区、无二次污染，清洗效果更佳；

6、设备清洗室全密封，且配有自动挡水圈，有效防止二次污染；

7、高速离心设计，转速可调节100-2000R/Min；

8、配备独特的静电消除装置，辅助清洗达到**效果，可选择使用氮气；

9、全自动晶圆粉体清洗机配有大面积透明观察窗；

10、缩减宽度的省空间设计，结构紧凑，占用空间小；

11、整机镜面不锈钢机身，能耐酸碱，对工作环境无污染，镜面机壳易于保养。

全自动晶圆粉体清洗机规格参数：